高洁净度化学品及研磨液供应系统
高洁净度化学品及研磨液供应系统可以根据机台的不同有两种分类，一种是单纯的学品及研磨液供应系统，将化学品自储存设备，利用供酸机台及管路供应给制程机台使用。另一种是具有混合、加热或者搅拌等功能的功能系统，将介质从储存设备，先经过稀释混合、加热、冷却或者搅拌沉淀的功能之后，再供应给制程机台使用。具体使用哪种供液方式，取决于机台的功能以及工艺上的要求。
高洁净度化学品及研磨液供应系统供应方式有两种，一种是泵输送，另一种是以加压氮气输送。其中因为驱动方式的不同可以分为气动泵和磁力泵等，其中气动泵成本经济，并且可使用耐腐蚀材料制造，输送一些酸性介质。磁力泵密封性很好，可以做到完全不泄露，动力输入和输出可以完全零摩擦，降低能耗。磁力驱动的泵可以做到很精确的闭环控制，已达到最终的高精度输出．而以加压氮气输送，常用在一些介质黏度大，用量精度高、挥发性强以及燃点低的情况下。
高洁净度化学品及研磨液供应系统的关键设计及安全防护主要剃体现在以下方面：
(1)化学品零污染；
(2)微粒子控制，介质因为温度压力可能会产生微粒，需要用过滤器循环过滤；
(3)流量要求，把信息结果汇入自动监控系统；
(4)泄露报警，如果系统中有泄露的地方，需要立即发出警报，在界面中显示出泄露大概区域，并且暂停这一部分的供液功能，关闭相关部分的阀门和动力系统，使得故障能迅速恢复，将损失降到最低，把信息结果汇入自动监控系统；
(5)取样分析，各段供应的化学品需要进行自动取样分析，根据需要分析系统和管路中带入的粒子以及金属离子，把信息结果汇入自动监控系统；
(6)自动控制运转，系统和各个机台的交互运行能够进行自动控制，提供运行监控界面，显示实时系统状态，其中包括泵、过滤系统、压力容器等的各种参数，如果一旦有参数超出正常范围，进行自动调节之后将进行报警，把信息结果汇入自动监控系统；
(7)自动的维护保养系统功能，能够在系统闲时，根据具体情况，定期对系统管路进行保养维护以及清洁，延长各个系统的使用，提高系统的安全性：
(8)化学品用量的统计，能根据人为控制或者自动结算监控，及时调整介质供应时间和频率，使得介质供应能及时补充生产，不成为整个生产的瓶颈，并及时把信息结果汇入自动监控系统；
(9)系统白动故障诊断，根据前面提及的各个控制系统汇总的故障信息，自动诊断故障点或者可能发生故障点的相关度，最大化的缩短故障排除时间。
(10)各段化学品供应源处安装手动开关，在遇有紧急情况时可切断化学品供应或者分流，以保证需要保护的装备切断或者减少化学品进入。
(11)化学品捅、槽和柜进行填充时，需要有液位传感器或者压力传感器，实时监测化学品液位及压力，如果超过设定值时供应必须自动停止。
(12)易燃易爆化学品输送系统应该配有灭火装置，使用火焰、温度或者烟雾传感器监测，一旦发生险情，必须能进行有效的灭火且有声光报警，以及远程报警信号传输。
